Nghiên cứu chế tạo & khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực
Diễn đàn thư viện tài liệu cơ khí Trang chủ thư viện tài liệu cơ khí
Tìm kiếm chi tiết

Home Forum Nội quy Diễn đàn Tin tức - Sự kiện Liên hệ Trang cá nhân Fanpage Facebook
 

Go Back   Diễn đàn thư viện tài liệu, video, kiến thức, tiêu chuẩn cơ khí TÀI LIỆU - ĐỒ ÁN - LUẬN VĂN TÀI LIỆU KHÁC

Gởi Ðề Tài MớiTrả lời
 
Ðiều Chỉnh Kiếm Trong Bài
  #1  
Old 04-11-2016, 09:35 AM
haihoang_boy's Avatar
haihoang_boy haihoang_boy is offline
 
Tham gia ngày: Dec 2009
Bài gởi: 1,054
Cảm ơn: 2
Được cảm ơn 35 lần trong 32 bài viết
Thế giới ebook Nghiên cứu chế tạo & khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực

Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cỡ 45 micron, ở tâm có thiết kế thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lối ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, qui trình chế tạo, và các khảo sát đặc trưng của cảm biến.

[Chỉ có thành viên mới có thể nhìn thấy links. Bạn hãy nhấn vào đây để đăng ký...]

Các cấu trúc đo tín hiệu cơ tiêu biểu thường có dạng các màng hoặc các thanh dầm được chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao nhờ công nghệ vi cơ (micromachining technology). Do tính đặc thù cũng như khả năng đặc biệt của công nghệ vi cơ, công nghệ này đã được ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau như trong công nghiệp, kỹ thuật, y tế, quân sự,…

Trong những năm gần đây, với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học, công nghệ vi cơ đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đμo tạo về Khoa học Vật liệu (ITIMS) là nhóm đầu tiên ở Việt nam triển khai và thành công trong một số loại cảm biến nhờ công nghệ này. Trên cơ sở chế tạo thành công cảm biến áp suất với cấu trúc cơ bản là một màng phẳng, một mẫu cảm biến mới với một tâm cứng được thiết kế thêm ở tâm mμng đã được phát triển để đo lực và đo khối lượng. Nhờ tâm cứng này, các tác dụng tập trung vào một điểm như tác dụng lực có thể đặt trực tiếp lên màng cảm biến.

Sự uốn cong của màng dưới tác dụng của lực sẽ được chuyển đổi thành tín hiệu điện lối ra nhờ một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực đã khuếch tán trên màng tương tự như trong các cảm biến áp suất [1,2]. Tuỳ theo yêu cầu về phạm vi đo lực hay đo khối lượng, bề dày màng và kích thước cạnh màng được lựa chọn một cách thích hợp khác nhau.

Trong khảo sát của chúng tôi, các cảm biến lực với màng vuông 5 x 5mm2, 7 x 7 mm2, 9 x 9 mm2, vμ 10 x 10 mm2, bề dày màng cỡ 45 mm đã được thực hiện. Trong vùng làm việc tuyến tính, các lực lớn nhất có thể đo được là 0.686 N (tương ứng với khối lượng là 70 g), lực nhỏ nhất đo được là 0.013 N (tương ứng với khối lượng là 13 mg). Độ nhạy lực đạt tới 78.63 mV/V.N (hay 0.77 mV/V.g).

Link tải:

[Chỉ có thành viên mới có thể nhìn thấy links. Bạn hãy nhấn vào đây để đăng ký...]

[Chỉ có thành viên mới có thể nhìn thấy links. Bạn hãy nhấn vào đây để đăng ký...]


[right][size=1][url=http://thuviencokhi.com/@forum/showthread.php?p=981]Copyright © Diễn đàn thư viện tài liệu, video, kiến thức, tiêu chuẩn cơ khí - Posted by haihoang_boy[/url][/size][/right]
 
__________________
"Nợ cha một sự nghiệp - Nợ mẹ một nàng dâu"

[right][size=1]Hidden Content [/size][/right]
 
Trả Lời Với Trích Dẫn
Gởi Ðề Tài MớiTrả lời

Từ khóa
ứng dụng, bề dày, cam, công nghệ, công nghiệp, cấu trúc, cơ bản, cơ sở, dầm, kích thước, kỹ thuật, lựa chọn, một số, nguyên lý, tập trung, thiết kế, trong công nghiệp, vật liệu, đặc biệt

Ðiều Chỉnh Kiếm Trong Bài
Kiếm Trong Bài:

Tìm kiếm chi tiết


Powered by: vBulletin v3.8.4 Copyright ©2000-2020, Jelsoft Enterprises Ltd.
Nội dung được sưu tầm từ Internet - Chúng tôi không chịu trách nhiệm về các vấn đề liên quan đến nội dung
Copyright by Thuviencokhi.com